(株)SCREENホールディングスではこのたび、(公社)発明協会が主催する「平成30年度近畿地方発明表彰」において、「パドル処理による基板を除電する方法(特許第4498893号)」が「特許庁長官賞」を受賞した。表彰式は 11月 21 日(水)にダイワロイネットホテル和歌山にて行われる予定。
NR181107 R                                                                最新の枚葉式洗浄装置「SU-3300」
 「近畿地方発明表彰」は、全国を北海道・東北・関東・中部・近畿・中国・四国・九州の8地方に分け、各地方において優れた発明・考案・意匠を生み出した技術者・研究開発者を顕彰するもので、1921年に開始された。
 今回の受賞に当たっては、半導体製造工程で基板を洗浄する装置において、洗浄処理中の摩擦に起因して生じる基板の帯電量を低減する「パドル処理による基板を除電する方法」により、基板上に形成される半導体デバイスの不良の発生を防止した点が高く評価された。なお、本発明を搭載した(株)SCREENセミコンダクターソリューションズ製枚葉式洗浄装置は、最先端のロジック・メモリーデバイスをはじめ、車載用パワーデバイスやIoT用通信デバイスなど、幅広い分野の製造工程で使用されており、市場での高い評価を得ている。
<平成30年度近畿地方発明表彰 受賞一覧>
 特許庁長官賞:パドル処理による基板を除電する方法(特許第4498893号)
 発明奨励賞:ガス噴射ヘッドを備えたウエハ洗浄装置(特許第5153296号)
 発明奨励賞:マルチチャンネル方式の画像記録装置(特許第4484453号)
 発明奨励賞:基板の表面に処理液を液盛りする基板処理装置(特許第3943935号)
 平成11年以降の同社の近畿地方発明表彰受賞件数は累計で18件となった。

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