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丸紅情報システムズ(株)：ナノインプリント／ウエハ接合装置「WI-1000」 印刷
2010年 8月 06日(金曜日) 14:22

　ナノインプリント装置と表面活性化接合装置に対応。6軸のピエゾアライメント機構により±0.2μmの高精度アライメントを実現。また、高真空対応のウエハ接合チャンバーによって、直接真空チャンバー内でアライメントし、そのまま接合できる。独自のマジックビジョンと呼ばれる赤外線透過認識方式により、接合直前にアライメントし、接合後の精度を検査する機能（特許方式）により、不良品の発生も防ぐことができる。アライメント用アクチュエータとして、ピエゾ素子を使用することで潤滑材の必要もなく、ガスが発生しない。そのため、超高真空な環境にも対応。
　対応ウエハサイズは4～8インチ、真空度は5Pa（オプション：10-5Pa）、ヒータは200℃（オプション：400℃）まで。高精度アライメント機構とウエハ接合チャンバーは標準装備。
　http://www.marubeni-sys.com/
　TEL.03-5778-8580
最終更新 2010年 8月 26日(木曜日) 07:12