(一社)日本半導体製造装置協会（SEAJ）が発表した3月度の半導体製造装置速報値によると、と日本製装置（輸出を含む）の受注額は98,368百万円（3カ月移動平均）、BBレシオは0.78であった。BBレシオ0.78は100円で販売したのに対し78円の新たな受注があったということを示す。
　受注額は前月比1.4％減（2012年2月度確定値は99,797百万円）、前年同月比15.1％減（2011年3月度は115,862百万円）の98,368百万円であった。
販売額は前月比23.4％増（2012年2月度確定値は101,787百万円）、前年同月比2.9％増（2011年3月度は122,037百万円）の125,564百万円であった。

※BBレシオの算出に当たっては、受注高、販売高の3カ月移動平均データを使用。単位：百万円

　同データは速報値（3カ月移動平均）。確定値とは多少差異が生じる場合があるので利用に際しては注意が必要。なお、SEMIは北米製の半導体製造装置のBBレシオ（3カ月移動平均の受注・販売比率）の速報を発表している。

　一方、FPD製造装置速報値によると、日本製装置（輸出を含む）の受注額は、5,731百万円（3カ月移動平均）、BBレシオは0.24だった。BBレシオ0.24は100円で販売したのに対し24円の新たな受注があったということを示す。
　受注額は前月比55.1％減（2012年2月度は12,775百万円）、前年同月比82.7％減（2011年3月度は33,061百万円）の5,731百万円であった。
　販売額は前月比1.9％減（2012年2月度は23,957百万円）、前年同月比6.0％減（2011年3月度は25,001百万円）の23,494百万円であった。

※BBレシオの算出に当たっては、受注高、販売高の3カ月移動平均データを使用。単位：百万円