特許取得【PAT No.6841633】After● 特殊設計「多段縮流ノズル（マルチコントラノズル）」にて特許取得。 【PAT NO.4948787】ノズル内の流路抵抗を極限まで低減し、高速かつシャープな噴流を実現。除塵性能を低下させない到達距離が従来品（当社比）の約２倍に向上。気液クロス噴射 特殊ノズル指先につけ押し当てた異物でも除去可能Before吸込エアー吸込エアー搬送方向空気と共に生きる東洋熱工業株式会社エアトロニック事業部多段縮流多段縮流吸込エアー給気吸込エアー給気純水純水ノズル内部ノズル内部エアーナイフエアーナイフローラーφ150ローラーφ150補助エアー補助エアーナイフナイフ除塵対象２〜５μｍクラス ９９．９％ 除去パネル搬送型クリーナー【対応幅：10〜4,300mm】ウェブクリーナー【対応幅：10〜4,600mm】【特 徴】○ 各種フィルム・シートの洗浄に。○極薄基板に対応：板厚 t=0.04mm〜クリーニング可能。○ノズル廻りに狭ピッチローラーを配置。 コシの弱い基板に対する安定搬送を可能に。○基板に最適な除電装置が選択可能。○ パスローラー径にあわせたノズル設計。○ 既設ラインに簡易設置可能。【特 徴】○ 広いプロセスマージンを持った直進性の高いシャープな〒135-0063 東京都江東区有明1-2-25TEL.03-3529-1011 FAX.03-3529-1016http://www.tonets.co.jp 高速エアーを供給。○ 対象物の反りや凹凸部における除去性能の低下が無い。極薄基板向 V-SPEC ノズル極薄基板用に新たに開発された非対向Vラインノズル 【特許取得 PAT No.6420967】。対向気流による相互干渉の緩和により、基板のバタツキ低減・騒音低減、穴部・端部におけるバリ・ヒゲの除去に有効。異次元の除塵力 新開発 ウェブ用気液クロス噴射式 ノズル純水とエアーのクロス噴射で生み出す力が、従来では除去しきれなかった固着異物を効果的に除去国内外納入実績２,5００台以上蒻性能堺接傲ドライクリーナーPTHシリーズ国内外納入実績２,5００台以上｀占、東熱
元のページ ../index.html#33