＜特徴＞
MICRO ACEシリーズは、ディスプレイ・電子材料・電池向けなど先端素材の研究開発用にも使われるオフラインの装置です。最大0.7μｍの超高分解能検査が可能となり、顕微鏡での目視検査の代替、自動化を実現しました。
この他、ステージを簡易化した低価格タイプや、卓上タイプなどのラインナップがあります。

＜用途＞
工程ラインの抜取検査の自動化、仕上げ工程・研究開発工程での検査

＜スペック＞
型式　　　　　　: OMI-UL
分解能　　　　　: 0.7μm 〜 4.0μm
被検査物サイズ　: A4 , A3
光学系　　　　　: 透過、反射（同軸落射）
制御テーブル　　: 専用テーブル　または　市販部品組合せによるステージ
オプション　　　: 3D測定

型式　　　　　　: OMI-SP
分解能　　　　　: 2.8μm 〜 10μm
被検査物サイズ　: A4 , A3

型式　　　　　　: OMI-FE
分解能　　　　　: 20μm
被検査物サイズ　: A4