【半導体】JSR、台湾に電子材料事業の平坦化プロセス研究拠点を開設

　JSRは、グループ会社であるJSR Electronic Materials Taiwan Co., Ltd.が、台湾・新竹県湖口郷において、電子材料事業における平坦化プロセス研究拠点を開設した。
　同研究拠点は、半導体デバイスの微細化・高性能化の進展に伴い高度化する顧客ニーズに対応するため、先端平坦化プロセスに関する材料評価およびプロセス検証を現地で実施することを目的としている。これにより、CMP（Chemical Mechanical Planarization）材料を中心とした研究開発および顧客サポート体制の強化を図る。
　同研究拠点には、先端半導体プロセスに対応したApplied Materials製のCMP装置を導入しており、材料評価からプロセス検証までを一貫して実施することが可能。これにより、国内外の半導体メーカーとの連携を強化し、開発効率の向上および開発期間の短縮を実現する。
　世界有数の半導体クラスターである新竹地域に研究拠点を開設することで、JSRはグローバルな電子材料開発体制をさらに強化し、半導体メーカーの多様なニーズに迅速かつ的確に対応していく。