【圧力測定フィルム】富士フイルム、半導体ウエハー形状に合わせた新設計の「円形プレスケール」 を発売
富士フイルムは、圧力測定フィルム「プレスケール」*1の新ラインアップとして、半導体製造工程における圧力検査向けに、ウエハー形状に合わせた円形タイプ「円形プレスケール」を2026年6月8日より発売した。
「プレスケール」は、接触した物同士の圧力や面圧のバランス・分布を可視化できるフィルムで、同社がグローバル市場シェアトップ。圧力が加わると赤く発色し、その濃淡により圧力の大小を視覚的に確認できることから、ディスプレイや電子部品、自動車、電池、包装業界など幅広い分野の開発・製造工程で活用されている。
昨今、半導体分野では製造プロセスの高度化に伴い、工程内での圧力検査の重要性が増しています。特に、AIや次世代通信の普及を背景に半導体の微細化・積層化が進む中、ウエハーやチップを接合する「ウエハーボンディング」工程において、接合の精度や安定性に対する要求が一層高度化している。こうした中、わずかな圧力のばらつきが半導体の性能に影響することから、接合時の圧力状態を高精度に検査したいというニーズが高まっている。
今回同社は、半導体の製造で現在主流の12インチ（φ300mm）ウエハー形状に合わせて設計した圧力測定フィルム「円形プレスケール」を発売する。検査時にウエハーの大きさや形状にあわせて圧力測定フィルムをカットする必要がなく、そのまま使用できるため、検査の工数・時間を削減できる。さらに、「円形プレスケール」は常温～220℃までの圧力測定に対応しているため、装置が加熱され高温であっても圧力を正確に測定できる。
また、「プレスケール」の発色画像をモバイル端末で読み取ることで、画像を解析し圧力を数値化できるモバイルアプリ「プレスケールモバイル」*2に、今回発売する「円形プレスケール」の読み取り機能を搭載した。さらに、「プレスケール」の画像を高解像度FAカメラ（Factory Automation Camera）で読み取ることで、圧力の定量化を実現する「プレスケール」専用の圧力画像解析装置「プレスケールステーション」*3は、本年7月に「円形プレスケール」に対応予定。
同社は、開発・製造現場における検査業務のデジタル化と効率化を実現する製品の開発・提供を通じて、顧客の製造品質の向上・安定化に貢献していく。
- *1 同社の精密塗布技術とマイクロカプセル技術を活用して、圧力や面圧のバランス、分布を簡単に可視化できるフィルム。「プレスケール」には、測定する圧力に応じて、ツーシートタイプ（発色剤と顕色剤が別々の支持体に塗布されたフィルム）と、モノシートタイプ（1枚の支持体に発色剤と顕色剤が塗布されたフィルム）の二種類がある。今回発売する「円形プレスケール」はツーシートタイプ。
- *2 同社の高度な画像処理技術を生かし、「プレスケール」の発色画像から圧力を定量化できるモバイルアプリ。発色した「プレスケール」を専用撮影台紙（キャリブレーションシート）の上に置き、アプリをインストールしたモバイル端末で読み取るシンプルなワークフローで、最大・最小圧力や平均圧力、加圧面積など13種の圧力情報を数値化。誰でも簡単に高精度な圧力検査を行うことが可能。
- *3「プレスケール」の発色画像を解析し圧力を数値化できる専用の圧力画像解析装置。
１．製品名・発売日・価格・仕様
| 製品名 | 発売日 | 価格 | 使用推奨温度 測定可能圧力範囲 |
|---|---|---|---|
| 「円形プレスケール（φ300mm）LLLW」 | 2026年6月8日 | オープン価格 | 20℃～35℃ 0.2～0.6MPa |
| 「円形プレスケール（φ300mm）LLW」 | 20℃～35℃ 0.5～2.5MPa | ||
| 「円形プレスケール（φ300mm）LW」 | 20℃～35℃ 2.5MPa～10.0MPa | ||
| 「円形プレスケール（φ300mm）高温用100 LLLW」 | 35℃～150℃（両面加熱）*4 0.2MPa～0.6MPa | ||
| 「円形プレスケール（φ300mm）高温用100 LLW」 | 35℃～150℃（両面加熱） 0.5MPa～2.5MPa | ||
| 「円形プレスケール（φ300mm）高温用100 LW」 | 35℃～150℃（両面加熱） 2.5MPa～10.0MPa | ||
| 「円形プレスケール（φ300mm）高温用200 LLLW」 | 150℃～220℃（両面加熱） 0.2MPa～0.6MPa | ||
| 「円形プレスケール（φ300mm）高温用200 LLW」 | 150℃～220℃（両面加熱） 0.5MPa～2.5MPa | ||
| 「円形プレスケール（φ300mm）高温用200 LW」 | 150℃～220℃（両面加熱） 2.5MPa～10.0MPa |
*4 加圧面の両面を加熱する際の推奨温度
2. 主な特長
（1）ウエハー形状に対応した円形仕様による効率化
「円形プレスケール」は12インチ（φ300mm）ウエハー形状に合わせて設計しており、圧力測定の準備工数・時間を削減する。
さらに、持ち手部分を設けたことで、圧力測定面に触れることなく取り扱うことができ、半導体製造現場での作業性向上にも貢献する。
（2）高温環境下での圧力測定に対応
円形プレスケール」は、常温での圧力測定に加え、高温35～150℃、150～220℃環境での圧力測定に対応したタイプもラインアップ。使用環境に合わせて、適切なタイプを選択できる。
（3）定量化ツールと合わせて圧力検査の品質をさらに向上
「プレスケール」の発色画像を解析し、圧力を数値化できるモバイルアプリ「プレスケールモバイル」でも「円形プレスケール」の読み取りが可能。シンプルなワークフローで、誰でも簡単に圧力を定量化することができるため、検査効率の向上や品質管理強化に貢献する。「プレスケール」専用の圧力画像解析装置「プレスケールステーション」も、本年7月に「円形プレスケール」に対応予定。
3. 「プレスケール」関連サイト
「プレスケール」の総合カタログや活用事例は以下を参照。