【2026年第87回 応用物理学会 秋季学術講演会】KOKUSAI ELECTRICの芦原氏、9月11日に「ナノ層で拓く次世代半導体：薄膜成膜の最先端」について講演

　2026年第87回 応用物理学会 秋季学術講演会が2026年9月8日～11日まで、北海道大学の札幌キャンパス（北海道札幌市北区）＆オンラインのハイブリッドで開催される。
　KOKUSAI ELECTRICの芦原洋司氏は、2026年9月11日午後1時30分～2時まで、「ナノ層で拓く次世代半導体：薄膜成膜の最先端」というテーマで、先端半導体の製造で用いられる薄膜成膜技術について解説する。特にナノレベルな薄膜体積法であるALD法の適用状況、課題、今後必要となるBeyond ALDについても述べる。