【ターボ分子ポンプ】島津製作所、半導体製造装置向けめっき加工ライン増設

　島津製作所は、本社のある三条工場（京都市中京区）において、半導体製造装置向けのターボ分子ポンプ（TMP）のめっき加工ラインを増設した。生成AIの普及や半導体市場の拡大を背景としたTMPの需要増に対応するため、2026年9月にめっき加工の新ラインを稼働し始めた。2027年夏には追加増設を予定しており、サプライチェーン全体でTMPの生産体制を強化する。
　TMPは、ポンプ内部の金属製ブレード（羽根）を毎分数万回という超高速で回転させ、気体分子を弾き飛ばすことで高真空状態を作り出す真空ポンプ。同社のTMPは、半導体製造装置をはじめ、太陽光発電パネルや建材ガラスのコーティング装置など、高真空環境を必要とする幅広い分野で使用されている。特に半導体製造では微細化・高性能化が進む中、TMPの需要が高まっている。
　TMPの製造工程では、金属材料を切削して部品を成形する機械加工を行った後、主要部品の表面にめっき加工を施す。同社は、主要部品を腐食から保護するめっき加工の新ラインを三条工場で稼働し始めたほか、協力会社と連携した加工体制を構築するなど、生産工程への設備投資を進めている。今年9月のライン増設で、めっき工程の処理能力は従来比約2倍となっており、2027年夏の追加増設後には従来比約2.5倍まで高める計画。社内外で生産体制を段階的に強化し、安定したTMPの製造とサービス提供につなげる。