【FPD】キヤノン、フラットパネルディスプレイ露光装置向けLED照明オプションを発売

　キヤノンは、第8世代ガラス基板^※1に対応したFPD露光装置「MPAsp-H1003H」（2022年7月発売）向けのオプション^※2として、従来の水銀ランプに代わりLED光源を採用したLED照明オプションを2026年9月上旬に発売する。

　近年、ディスプレイ製造では、生産性に加えて環境対応も求められている。新たに発売するLED照明オプションは、従来水銀ランプを使用していた「MPAsp-H1003H」の光源にLEDを採用することで、光源の高照度化や長寿命化、消費電力削減に寄与する。キヤノンは今後、LED照明オプションの対応機種拡充や、顧客に導入済みの装置の光源をLEDにアップグレードする有償サービスを進め、新設装置、既設装置どちらにおいても、生産性向上と環境負荷低減に貢献していく。

高照度化によるタクトタイム短縮と約20倍の光源長寿命化により生産性向上に貢献

　LED光源の採用により、従来の水銀ランプに比べて、照度を40％以上^※3向上させ、タクトタイムの短縮が可能。また、従来3基必要だった光源ユニットを1基に集約した。さらに、光源の寿命が、従来の1000時間から20000時間^※4に延びた。光源交換の頻度を抑えることで、交換作業に伴う装置停止時間の低減を図り、ディスプレイ製造ラインの安定稼働を支える。

消費電力削減により装置運用時のコスト削減に寄与

　照明ユニットの消費電力を、従来と比べ65％以上^※5削減します。これにより、露光装置全体では10％以上の低電力化を実現し、ランニングコストを抑える。

水銀廃棄量の削減により環境負荷低減に貢献

　露光装置1台あたりの水銀廃棄量を年間1.0kg以上削減^※6する。低消費電力化とあわせて、装置運用における環境負荷低減に貢献する。

※1 2200×2500mmサイズのガラス基板で、現在は主にテレビ用ディスプレイのパネル製造に用いられる。
※2 新設装置向け。既設装置向けは今後展開予定。
※3 キヤノン指定の水銀ランプ照度仕様とLED光源照度仕様の比較。
※4 標準運用時の光源寿命を水銀ランプとLED光源で比較。
※5 従来の水銀ランプ運用時の最大消費電力とLED光源運用時の最大消費電力の比較。
※6 装置1台あたりの水銀ランプ使用本数／年 と水銀ランプ1本に含まれる水銀含有量より算出。