【卓上走査電子顕微鏡】日本電子、「JCM-7000Plus NeoScope」販売開始

 日本電子は卓上走査電子顕微鏡(SEM)「JCM-7000Plus NeoScope(TM)」の販売を2026年9月1日より開始した。

JCM-7000Plus NeoScope(TM)

 卓上走査電子顕微鏡は電機・電子、自動車・機械、鉄鋼・金属、化学・薬品を主体にさまざまな分野で利用が広がっている。研究開発はもちろん、品質管理、物品検査といった製造現場と近接した職種でも活用され、はたまた中高・大学での教育現場でも採用されており、多様なロケーションでの使用状況に対して、さらなる作業効率の向上、操作の簡便性と自動化、観察・分析・計測の性能強化が求められている。
 こうしたニーズに応えるため、まずハード面では入射電圧(加速電圧)を20kVまで拡大した。これにより分解能が6nmに向上し、より高倍率かつ高分解能な測定にも対応できるように性能を向上させた。
 またソフト面では、現行のJCM-7000に搭載されている、光学像からSEM観察へのシームレス移行が可能なZeromag、観察しながらリアルタイムで元素分析が可能なLive Analysis機能などのシンプルで使いやすいGUIはそのままに、改良された自動化機能Neo Actionが新型JCM-7000Plusに適用可能になった。加えて、既存の3つのLive機能(Live Analysis、Live Map、Live 3D)の他、新開発の観察しながらLiveで粒子のサイズ・個数を自動確認できるLive Particle、ハイエンドFE-SEMに搭載されている、視野移動しながら自動でデータ取得とレポート作成ができるLive Reportを新しく追加した。これらの機能から、よくある作業をより簡単に、より直感的に、より楽にすることで、ユーザーの分析業務を大きくサポートする。
 主な特徴は次の通り。
(1)入射電圧(加速電圧)20kV対応で分解能アップ(二次電子像:6nm、反射電子像:8nm)
(2)反射電子検出器の改良で像質向上
(3)新機能Live Particleで粒子のサイズや個数を自動計測することで作業を簡略化
(4)Live Reportで視野移動をしながらのデータ取得とレポート作成で作業効率アップ
(5)シンプルで使いやすいGUIをそのままに、自動化機能を追加し、より直感的で作業を簡単に
 販売予定台数は300台/年間。

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